초미세 316L 스테인레스 스틸 짧은 섬유

제품 종류: 초미세 316L 스테인레스 스틸 짧은 섬유

섬유 지름: 1um/1.5um/2um 사용 가능

절단 길이: 80-100um

원료의 화학적 성분 ((Wt%)

반도체 제조에서 고순도 공정 가스를 유지하는 것은 결함을 예방하고 높은 양을 보장하는 데 중요합니다.m 금속 필터 매체는 대기 분자 오염 (AMC) 통제에 기여하는 동시에 미세먼지 오염 물질을 제거함으로써 가스 정화에서 중요한 역할을합니다.첨단 웨이퍼 제조에 필수적입니다..

주요 특징 및 이점

고효율 필터레이션 (1μm 유지)

광자료화, 발열 및 퇴적 과정에서 결함을 일으킬 수있는 미크론 미만의 입자를 캡처합니다.

웨이퍼 표면 오염의 위험을 줄이고 생산량을 향상시킵니다.

화학적 인 내성 및 부식 저항성

고순도 물질로 만들어집니다.스테인리스 스틸 (316L), 니켈 또는 합금공격적인 가스 (예를 들어, HF, HCl, NH3) 와 호환성을 위해

방출에 저항하고 추가 오염을 방지합니다.

AMC 제어 능력

일부 고급 금속 필터는표면 처리 또는 코팅(예를 들어, 비활성화, 전극화) 휘발성 유기물질 또는 산의 흡수 / 소흡을 최소화하기 위해.

만나는데 도움이 됩니다.SEMI F21 AMC 클래스 1EUV 리토그래피와 같은 민감한 프로세스에 대한 요구사항

고온 및 압력 저항성

가혹한 조건에서 안정적인 성능 (일부 합금의 경우 500°C 이상)

용도:CVD, 확산 및 이온 이식가스 선

장수 및 청소 가능성

청소 후 재사용 (우파, 화학 또는 열 방법) 으로 소유 비용을 줄일 수 있습니다.

에너지 효율적인 가스 흐름을 위한 저압 하락 설계

반도체 제조업의 응용

초고정도의 가스 공급 (UHP)(N2, Ar, H2, O2, 등)

에치 및 퇴적 과정(CVD, PVD, ALD)

사진 리토그래피(AMC에 민감한 EUV/DUV 환경)

용량 가스 및 사용 지점 (PoU) 필터레이션

대체물 보다 금속 필터 를 사용 하는 이유

뛰어난 내구성폴리머 필터와 비교하면 (입자를 분해하고 배출할 수 있습니다.)

섬유 분해가 없습니다.전통적인 HEPA/ULPA 필터와 달리

더 나은 AMC 완화표준 입자 필터와 비교하면

준수 및 표준

SEMI F20(입자 제어)

SEMI F21(AMC 분류)

ISO 14644-1(클린룸 표준)

결론

1μm 금속 필터 매체반도체 가스 정화용 강력한 솔루션으로,입자 필터레이션, AMC 제어 및 화학 저항성첨단 웨이퍼 제조의 엄격한 요구 사항을 충족시키기 위해